5月16日，凱世通在上海浦東新區(qū)舉辦了一場慶典活動(dòng)，慶祝其國產(chǎn)低能大束流離子注入機(jī)在12英寸晶圓產(chǎn)品片上的過貨量突破500萬片。
離子注入機(jī)作為芯片制造的三大核心裝備之一，技術(shù)門檻極高，僅次于光刻機(jī)。其中，低能大束流離子注入機(jī)不僅市場規(guī)模最大，還面臨極高的產(chǎn)業(yè)化難度。據(jù)公開資料顯示，自2020年交付首臺設(shè)備以來，凱世通始終堅(jiān)持自主研發(fā)和原創(chuàng)設(shè)計(jì)，攻克了多項(xiàng)技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化。公司不僅覆蓋了28納米工藝的全面應(yīng)用，還成功支撐了國內(nèi)10余家主流12英寸集成電路產(chǎn)線的安全量產(chǎn)，涉及先進(jìn)邏輯、先進(jìn)存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領(lǐng)域。
活動(dòng)現(xiàn)場，客戶代表向凱世通授予了“凱世通速度”書法作品，以表彰其在技術(shù)研發(fā)和量產(chǎn)方面的卓越表現(xiàn)。凱世通以“每月等效2個(gè)月”的研發(fā)效率，不斷刷新低能大束流離子注入機(jī)在產(chǎn)線安全量產(chǎn)上的新高度，探索國產(chǎn)化應(yīng)用的無人區(qū)。

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