快科技9月29日消息,半導體工藝越先進,對光刻機的需求就越高,5nm以下量產更少不了EUV光刻機,目前全球只有ASML公司能供應,臺積電、三星、Intel等公司都會向他們下降。
那么這些巨頭中誰擁有的EUV光刻機多呢?調研機構BOFA公布了2021到2025年為止的EUV光刻機數量,如下所示:

作為全球大同時先進工藝量產多的晶圓代工廠,臺積電這幾年來購買的EUV光刻機數量是多的,除了24年只有10臺之外,平均每年都在25臺左右,累積下來已經超過107臺,是唯一一家數量過百的。
三星從7nm時代就號稱首發量產EUV工藝,所以購買量也不低,除了今年只有3臺,以往每年在10-15臺,累積下來55臺,位列第二。
三星不僅在邏輯工藝上使用EUV光刻機,內存芯片上也逐漸用上EUV光刻機,這也是關鍵因素。
SK海力士之前三年訂購的EUV都很少,這兩年爆發了一波,總計有26臺。
Intel公司之前對EUV不慎積極,但在Intel 4工藝之后也開始應用EUV光刻工藝,前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了對下一代High NA EUV光刻機的購買,全球第一個下單出貨,但現在的陳立武叫停了不少工廠建設,今年EUV采購量還是0。
累積下來這幾年購買了25臺EUV光刻機,比SK海力士還少1臺。
美光公司因為主要生產內存和閃存芯片,而且對之前也用不到EUV工藝,今年才買了5臺,總量就是這么多了。
這里面還有一家公司值得注意,那就是日本Rapidus,他們成立才2年時間,但野心很大,目標是2027年量產2nm工藝,所以也早早下單了EUV光刻機用于研發,今年就展示過2nm工藝的晶圓,技術進展值得關注。
如果他們的目標實現了,未來Rapidus公司對EUV光刻機的需求量也不少。

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