快科技8月11日消息,邏輯芯片在進(jìn)入5nm節(jié)點(diǎn)之后全面使用了EUV工藝,存儲(chǔ)芯片使用DUV工藝為主,這四五年才剛開(kāi)始嘗試EUV工藝,現(xiàn)在SK海力士公司更為激進(jìn),新一代DDR5將使用6層EUV光刻。
大家都知道,相比于DUV光刻,EUV光刻的13.5nm波長(zhǎng)更短,光刻精度更高,有助于提告密度,減少工藝復(fù)雜性,以往需要多次光刻的步驟在EUV上可能一次就夠了,這對(duì)DRAM內(nèi)存芯片來(lái)說(shuō)也是適用的。
三星早在2020年就率先宣布在內(nèi)存芯片中使用EUV光刻,美光隨后也跟上了,SK海力士晚了一年在2021年才宣布在第四代10nm級(jí)工藝上使用EUV光刻,不過(guò)之前DRAM芯片往往只使用了1層EUV光刻。
現(xiàn)在SK海力士要加碼EUV,第六代10nm級(jí)DDR5芯片(1c DRAM)將全面改進(jìn)光刻工藝,EUV光刻層數(shù)將提升到5層以上,也就是6層起步,并且在未來(lái)的1d、0a級(jí)別內(nèi)存上全面使用EUV光刻。
不過(guò)首發(fā)的產(chǎn)品規(guī)格并不高,DDR5內(nèi)存的顆粒還是16Gb的,并沒(méi)有太過(guò)追求容量提升,還是主流水平。
除了DDR5內(nèi)存芯片,HBM家族的芯片未來(lái)也會(huì)大量使用EUV光刻工藝,SK海力士希望用技術(shù)優(yōu)勢(shì)讓對(duì)手追無(wú)可追,希望甩開(kāi)三星的意圖很明顯。
不僅如此,SK海力士還在下一代的EUV光刻機(jī)——High NA EUV上押注頗多,后者的NA數(shù)值孔徑從當(dāng)前EUV的0.33提升到0.55,精度更高,不過(guò)光刻機(jī)的價(jià)格也貴了很多,從1.5-2億美元暴漲到4億美元甚至更高。
SK海力士計(jì)劃從2026年開(kāi)始使用High NA EUV光刻機(jī)生產(chǎn)內(nèi)存芯片。

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