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支持后2nm工藝時(shí)代！ASML將發(fā)貨新EUV光刻機(jī)EXE:5200 英特爾是買家

來(lái)源：責(zé)編：時(shí)間：2025-02-02 18:41:43 128觀看

導(dǎo)讀快科技2月1日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道稱，ASML已經(jīng)確認(rèn)，即將出貨新款的EUV光刻機(jī)EXE:5200，相比上代來(lái)說(shuō)，表現(xiàn)更加強(qiáng)悍，當(dāng)然不會(huì)賣給中國(guó)廠商。按照官方的說(shuō)法，EXE:5200是現(xiàn)有初代High NA EUV光刻機(jī)EXE:5000的改進(jìn)款，其將

快科技2月1日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道稱，ASML已經(jīng)確認(rèn)，即將出貨新款的EUV光刻機(jī)EXE:5200，相比上代來(lái)說(shuō)，表現(xiàn)更加強(qiáng)悍，當(dāng)然不會(huì)賣給中國(guó)廠商。

按照官方的說(shuō)法，EXE:5200是現(xiàn)有初代High NA EUV光刻機(jī)EXE:5000的改進(jìn)款，其將擁有更高的晶圓吞吐量（EXE:5000為每小時(shí)185片以上），可以更好的為2nm工藝量產(chǎn)做支撐。

在這之前，ASML宣布英特爾訂購(gòu)了業(yè)界首個(gè)TWINSCAN EXE:5200光刻機(jī)（一種具有高數(shù)值孔徑和每小時(shí) 200 多片晶圓的極紫外 (EUV) 大批量生產(chǎn)系統(tǒng)），這標(biāo)志著他們?cè)谝?.55 NA EUV的道路上又邁出了一步。

TWINSCAN EXE:5000和EXE:5200均提供了0.55數(shù)值孔徑，比前代EUV光刻機(jī)0.33數(shù)值孔徑透鏡的精度提高了，可以為更小的晶體管功能提供更高分辨率的模式。

EUV 0.55 NA 的設(shè)計(jì)旨在從2025年開始實(shí)現(xiàn)多個(gè)未來(lái)節(jié)點(diǎn)，這是業(yè)內(nèi)首次部署，隨后將采用類似密度的內(nèi)存技術(shù)。

支持后2nm工藝時(shí)代！ASML將發(fā)貨新EUV光刻機(jī)EXE:5200 英特爾是買家

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