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2023年11月5日-10日，第六屆中國國際進口博覽會（以下簡稱“進博會”）將在上海全面線下舉辦。
光刻設備領先供應商阿斯麥（ASML）今年也將第五次參加進博會，公司將以“光刻未來，攜手同行”為主題，亮相國家會展中心技術裝備展區集成電路專區，并首次以互動視頻的形式帶領觀眾深度了解ASML包括光刻機臺、計算光刻以及光學和電子束量測在內的全景光刻解決方案如何相互協作、支持客戶。
在正式參會前夕，ASML全球高級副總裁、中國區總裁沈波就本屆參展計劃、在華業務發展情況及未來規劃等熱點話題和外界展開交流。
△ASML全球副總裁、中國區總裁沈波
“今年，我們深圳和武漢的研發團隊開發并發布了一款貼合中國客戶需求的新版本計算光刻產品，能夠實現行業領先的良率。在此背景下，我們也希望通過進博會這樣的平臺持續讓外界對ASML有更客觀、全面的認識，ASML始終積極響應中國集成電路行業的發展需求，為客戶提供全景光刻解決方案，這其中不僅包括大家熟知的光刻機臺，還有計算光刻、以及光學和電子束量測，從而幫助客戶經濟高效地提升良品率和生產效率。”沈波近日向媒體介紹。
ASML持續擴大在中國的研發投入
自1988年向中國交付了首臺步進式光刻機之后，ASML公司已經在中國市場深耕30余年，參與支持了中國半導體行業的發展，提供全包括光刻機臺、計算光刻、以及光學和電子束量測的全景光刻解決方案，從而幫助客戶提高效率并降低成本。
目前，ASML在中國設有16個辦事處、12個倉儲物流中心、3個開發中心、1個培訓中心以及1個維修中心。ASML在中國大陸的員工總人數已經超過1600人。
據了解，2004年，ASML在深圳建立首個計算光刻開發中心。經過近20年的人才積累，該中心已成為ASML在全亞洲大的專業軟件開發中心。目前，ASML在國內有深圳和武漢兩個計算光刻開發中心。
“計算光刻主要應用于芯片的開發與制造環節，實際是通過大量的數學和物理模型的建立來幫助客戶在芯片開發和制造時設計出一個模板——用專業的詞來說叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻機是把這個光罩上面客戶設計的圖案投影到晶圓上面，然后晶圓通過光刻膠的顯影后續的工序把它呈現出來。”沈波給出相關定義時說。
ASML“鐵三角”全景光刻解決方案中的另一環是量測，其是曝光后晶圓成像檢查和反饋的環節，幫助進一步優化模型。量測分還為光學和電子束兩種，其中，ASML電子束量測在北京設有開發中心，是ASML電子束量測的全球四大開發中心之一，專門從事電子束系統關鍵組件的開發。
“ASML的服務不光是對故障維修和讓設備正常運轉，很重要的一個附加值在于ASML團隊能夠配合客戶的工藝做調整、優化，幫助客戶實現其工藝要求，從而使客戶能夠在制造芯片過程中獲得更好的良率和生產效率，更順暢地把工藝窗口做好；這是我們圍繞‘成像環節’做的一些事情，其中需要的不僅僅是光刻機，我們的計算光刻軟件和量測系統一起構成了緊密協作的三角形。”沈波在交流會上談到。
ASML在中國的機臺裝機量接近1400臺
根據ASML的財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。
其中，ASML三季度來自中國大陸的銷售收入占比由二季度的24%（銷售額約為13.45億歐元），幾乎翻倍增長到了46%（銷售額約為24.42億歐元），要知道今年一季度中國大陸的銷售收入占比僅8%。
這也進一步凸顯了中國大陸市場對于ASML光刻系統旺盛的需求，以及ASML對中國大陸市場交付的快速增長。
對于中國大陸市場增長情況，沈波解釋稱，過去兩年，受產能制約等因素影響，ASML對全球客戶交付率基本維持50%左右。今年中國大陸市場交付相對較多，主要因為一些產能越大的全球客戶對行業波動會越敏感，當行業景氣度下滑時，這些客戶會選擇放緩產能建設和設備采購進度。
而中國大陸的客戶目前仍處于產能建設階段，有些客戶甚至剛起步，尤其在成熟制程這塊需求非常旺盛，所以對行業波動相對不那么敏感。
“即便面對行業波動，中國大陸客戶對我們的需求仍是將前兩年訂的貨盡快交付，而其他客戶的需求時間節點發生了變化。所以，后大家看到的結果是中國大陸市場所占的份額相對出現上升。”沈波說道。
沈波還特別指出，“現在網上有各種各樣的關于我們的消息，說我們不賣機器到中國，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實際上我們從1988年首臺機器運到中國，到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測的機臺裝機量接近1400臺。所以，實際上我們這些年在中國的成長幅度還是非常可觀的。我們一直在不停地投入做這件事情。”
光刻設備供不應求，ASML正努力提升供應能力
作為全球半導體設備行業的創新領導者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務在內的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。目前，ASML是全球大的光刻機制造商，通也是全球唯一的極紫外光（EUV）的光刻機制造商。
“我們的光刻機每小時能處理多達300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據產品種類和設計的差異需要產生100束光左右，每一束光都會有區別，并且在實時調整。這個過程非常復雜、非常精細。”
沈波表示，光刻環節，處于上千道工序里面核心的位置。量產芯片廠，產品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片后出來就可能不是一個合格的產品，這對芯片廠而言是巨大的成本。
根據ASML于今年10月18日公布的新財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預計，2023年第四季度的凈銷售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。
對于ASML來說，截止今年三季度，公司仍有超過350億歐元的未交付訂單。如何突破產能瓶頸以應對市場需求增長仍是ASML需要解決的問題。
“總體來講，到目前為止，我們還屬于有一點產能不足的狀態。對市場的需求來說。盡管現在全球行業整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒執行的訂單有350億歐元。總體上（光刻設備）還是供不應求。”沈波表示，2023年ASML公司銷售額相比2022年（212億歐元）將增長30%，預計達270億歐元以上。
展望行業趨勢，沈波認為，當前存儲芯片庫存在進一步降低，同時價格出現些許回升；邏輯芯片廠設備的使用率慢慢地往回升，行業整體正觸底回升，明后年則有望企穩；行業存在周期起伏，但長期上升態勢未變。
“預計到2025年，行業回暖將使現有產能開滿并需要新產能，同時，全球各地，包括在中國、美國、歐洲、日韓等會有新的芯片廠在2025年投入運行，兩個因素疊加，屆時會帶來一波半導體設備的需求。”沈波指出。
對此ASML此前也已經公布了長期的產能規劃，目標是在2030年代中期做到全球每年交付600臺DUV機器。
沈波解釋稱：“過去很多年，我們每年是全球交付200臺機器左右，到今年應能提升到300多臺的產能，但缺口仍比較大。近年來，我們積極和供應商溝通，以期在配合和協作下，確保順利地響應、滿足2025年的產能爬升。如果各方面都配合得符合預期，我們會在2025年底或者2026年初具備500到600臺DUV之間的全球年供應產能。”
中國大陸業務明年或受10-15%影響
今年以來，隨著相關國家半導體出口管制政策接連出臺，業內對地緣政治的影響更為擔憂。
今年9月，荷蘭新芯片出口管制措施生效。根據ASML此前回應，自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發運TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證。而在此之前，ASML的EUV光刻系統已受到出口限制。
今年10月17日，美國商務部工業與安全局（BIS）也發布多項規則，更新并擴大了2022年10月7日發布的對先進半導體及其制造設備實施的一系列嚴格的出口管制措施等。
ASML回應稱，“根據目前收到的信息，我們認為適用該新規的涉及先進芯片制造的中國晶圓廠數量有限……ASML將向美國政府進一步澄清這些新規的適用范圍。ASML持續致力于遵守經營所在國家/地區所有適用的法律和法規，包括出口管制法規。”
在三季度財報會議上，ASML CEO Peter Wennink進一步解釋稱，“1980Di原則上將受出口管制限制，但僅當用于先進半導體制造時，僅適用于少數應用。這意味著1980Di僅對少數晶圓廠禁止出口，但可向絕大多數應用于次關鍵和成熟制程的中國大陸客戶直接出口，無需許可。”
那么，美國的新規對于ASML中國業務具體會有多大影響呢？
沈波坦言，“現在對于新的出口管制政策，我們還在研究中。總體來看，如果以今年我們在中國的業務為基礎，明年的業務大概會受到10%-15%的影響。中國明年的市場需求還是蠻旺盛的。短期內我們感覺應該對總體業務量不會有太大影響。從公司角度，到2030年，行業整體趨勢一直起伏性增長，所以對公司銷售的總體趨勢不會有太大的改變。”
“我們只有部分浸潤式產品明年會被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤式的業務在中國。”沈波補充稱。
在沈波看來，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在該領域好的公司和人才，才能保證把事情做好；在歷史發展進程中，半導體也一直是需要全球高度合作的產業，但近年來不光是ASML，整個行業發展都受到了很多地緣政治方面的影響。
如何去應對這種變化？沈波表示，“對ASML而言，只要在合法合規的框架下，我們一定會盡大的努力去支持所有的客戶。”
“在我們看來，先進制程芯片從數量上講是相對較小的，絕大多數是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對半導體行業來講是高效的，可以達到一個事半功倍的效果，有助于提高投入產出比。”沈波說道。
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